無(wú)菌室車(chē)間的溫濕度主要是依據(jù)技術(shù)請(qǐng)求來(lái)斷定，但在滿意技術(shù)請(qǐng)求的條件下，應(yīng)考慮到人的舒適度感。跟著空氣潔凈度請(qǐng)求的進(jìn)步，出現(xiàn)了技術(shù)對(duì)溫濕度的請(qǐng)求也越來(lái)越嚴(yán)的趨勢(shì)。詳細(xì)技術(shù)對(duì)溫度的請(qǐng)求今后還要羅列，但作為總的準(zhǔn)則看，因?yàn)榧庸ぞ仍絹?lái)越精密，所以對(duì)溫度動(dòng)搖規(guī)模的請(qǐng)求越來(lái)越小。例如在大規(guī)模集成電路出產(chǎn)的光刻曝光技術(shù)中，作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱脹大系數(shù)的差請(qǐng)求越來(lái)越小。直徑100um的硅片，溫度上升1度，就導(dǎo)致了0.24um線性脹大，所以必須有±0.1度的恒溫，一起請(qǐng)求濕度值通常較低，因?yàn)槿顺龊菇窈螅瑢?duì)商品將有污染，特別是怕鈉的半導(dǎo)體車(chē)間，這種車(chē)間不宜超越25度。濕度過(guò)高產(chǎn)生的疑問(wèn)更多。相對(duì)濕度超越55%時(shí)，冷卻水管壁上會(huì)結(jié)露，如果發(fā)生在精密設(shè)備或電路中，就會(huì)導(dǎo)致各種事故。相對(duì)濕度在50%時(shí)易生銹。此外，濕度太高時(shí)將經(jīng)過(guò)空氣中的水分子把硅片外表粘著的灰塵化學(xué)吸附在外表耐難以鏟除。相對(duì)濕度越高,粘附的難去掉，但當(dāng)相對(duì)濕度低于30%時(shí)，又因?yàn)殪o電力的效果使粒子也簡(jiǎn)單吸附于外表，一起很多半導(dǎo)體器材簡(jiǎn)單發(fā)生擊穿。關(guān)于硅片出產(chǎn)溫度規(guī)模為35—45%。
關(guān)于大部分無(wú)菌室車(chē)間，為了避免外界污染侵入，需求堅(jiān)持內(nèi)部的壓力（靜壓）高于外部的壓力（靜壓）。壓力差的保持通常應(yīng)契合以下準(zhǔn)則：
1．無(wú)菌室車(chē)間的壓力要高于非無(wú)菌室車(chē)間的壓力。
2.潔凈度等級(jí)高的空間的壓力要高于相鄰的潔凈度等級(jí)低的空間的壓力。壓力差的保持依托新風(fēng)量，這個(gè)新風(fēng)量要能抵償在這一壓力差下從縫隙漏泄掉的風(fēng)量。所以壓力差的物理含義即是漏泄（或浸透）風(fēng)量經(jīng)過(guò)潔凈室的各種縫隙時(shí)的阻力。潔凈室中的氣流速度規(guī)則這兒要評(píng)論的氣流速度是指潔凈室內(nèi)的氣流速度，在其他無(wú)菌室車(chē)間中的氣流速度在評(píng)論詳細(xì)設(shè)備時(shí)再闡明。關(guān)于亂流潔凈室因?yàn)橹髦饕靠諝獾南♂屝Ч麃?lái)減輕室內(nèi)污染的程度，所以主要用換氣次數(shù)這一概念，而不直接用速度的概念，不過(guò)對(duì)室內(nèi)氣流速度也有如下請(qǐng)求；
(1)送風(fēng)口出口氣流速度不宜太大，和單純空調(diào)房間比較，請(qǐng)求速度衰減更快，分散視點(diǎn)更大。
(2)吹過(guò)水平面的氣流速度（例如側(cè)送時(shí)回流速度）不宜太大，避免吹起外表微粒重返氣流，而形成再污染，這一速度通常不宜大干0.2m/s。
關(guān)于平行流潔凈室《習(xí)慣上稱層流潔凈室），因?yàn)橹饕繗饬鞯?ldquo;活塞打揉捏效果掃除行染，所以截面上的速度即是非常重要的目標(biāo)。曩昔都參考美國(guó)20gB標(biāo)準(zhǔn)，選用0.45m/s．但大家也都了解到這樣大速度所需求的通風(fēng)量是極大的，為了節(jié)能，也都在根究降低速一風(fēng)速的可行性。在中國(guó)，《空氣潔凈技術(shù)措施》和(潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范）都是這樣規(guī)則的筆直平行流（層流）潔凈室≥0.25m/s水平平行流（層流）潔凈室≥0.35m/s。
更新時(shí)間：2019-06-24
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