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凈化工程
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青島電子工廠中潔凈室的幾種型式根據(jù)電子產(chǎn)品生產(chǎn)工藝要求,空氣潔凈度等級和平面或空間布置要求,微電子廠房潔凈室布置形式一般有隧道式或港灣式、開放式、島形布置。
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