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HZD濟寧十萬級潔凈室復(fù)合式應(yīng)用
產(chǎn)品型號:HZD
更新時間:2024-11-29
廠商性質(zhì):工程商
訪問量:166
400-027-0532
產(chǎn)品分類
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濟寧十萬級潔凈室復(fù)合式應(yīng)用復(fù)合式:復(fù)合式為將亂流式及層流式予以復(fù)合或并用,可提供局部超潔凈之空氣。
(1)潔凈隧道(Clean Tunnel):以HEPA或ULPA過濾器將制程區(qū)域或工作區(qū)域100/覆蓋使?jié)崈舳鹊燃壧岣咧?0級以上,可節(jié)省安裝運轉(zhuǎn)費用。此型式需將作業(yè)人員之工作區(qū)與產(chǎn)品和機器維修予以隔離,以避免機器維修時影響了工作及品質(zhì),ULSI制程大都采用此種型式。潔凈隧道另有二項優(yōu)點:A.彈性擴充容易;B.維修設(shè)備時可在維修區(qū)輕易執(zhí)行。
(2)潔凈管道(Clean Tube):將產(chǎn)品流程經(jīng)過的自動生產(chǎn)線包圍并凈化處理,將潔凈度等級提至100級以上。因產(chǎn)品和作業(yè)員及發(fā)塵環(huán)境相互隔離,少量之送風(fēng)即可得到良好之潔凈度,可節(jié)省能源,不需人工的自動化生產(chǎn)線為最適宜使用。藥品、食品業(yè)界及半導(dǎo)體業(yè)界均適用。
(3)井裝局部潔凈室(Clean Spot):將潔凈室等級10,000~100,000之亂流潔凈室內(nèi)之產(chǎn)品制程區(qū)的潔凈度等級提高為10~1000級以上,以為生產(chǎn)之用;潔凈工作臺、潔凈棚、裝配式潔凈室、潔凈衣柜即屬此類。潔凈工作臺:等級Class 1~100級。潔凈棚:為在亂流式之潔凈室。潔凈室內(nèi)的工作桌等障礙物,在相接處均會有渦流現(xiàn)象發(fā)生,相對地在其附近之潔凈度將會較差,在工作桌面鉆上回風(fēng)孔,將使渦流現(xiàn)象減少*低;組裝材料之選擇是否恰當、設(shè)備布局是否*善,亦為氣流是否成為渦流現(xiàn)象之重要因素。
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