潔凈凈化工程的作用在于控制產(chǎn)品(如硅芯片等)所接觸之大氣的潔凈度日及溫濕度,使產(chǎn)品能在一個良好之環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造,此空間我們稱之為潔凈室。按照國際慣例,無塵凈化級別主要是根據(jù)每立方米空氣中粒子直徑大于劃分標(biāo)準(zhǔn)的粒子數(shù)量來規(guī)定。也就是說所謂無塵并非100%沒有一點灰塵,而是控制在一個非常微量的單位上。當(dāng)然這個標(biāo)準(zhǔn)中符合灰塵標(biāo)準(zhǔn)的顆粒相對于我們常見的灰塵已經(jīng)是小的微乎其微,但是對于光學(xué)構(gòu)造而言,哪怕是一點點的灰塵都會產(chǎn)生非常大的負(fù)面影響,所以在光學(xué)構(gòu)造產(chǎn)品的生產(chǎn)上,無塵是必然的要求。
潔凈凈化工程設(shè)計要求:
一、綜合性要求
1、空氣潔凈凈化工程設(shè)計應(yīng)具備多學(xué)科交叉的特點,綜合考慮空調(diào)技術(shù)、風(fēng)機(jī)技術(shù)、濾材技術(shù)、空氣動力學(xué)、運行激活的關(guān)鍵技術(shù)等。
2、重視系統(tǒng)的整體優(yōu)化設(shè)計,為客戶提供綜合的解決方案,使效果佳、性能優(yōu)、系統(tǒng)安全、可靠、它有效、經(jīng)濟(jì)節(jié)能。
二、技術(shù)要求
1、空氣潔凈凈化工程設(shè)計應(yīng)根據(jù)應(yīng)用環(huán)境的不同采取不同的凈化技術(shù),如集中式空調(diào)系統(tǒng)、節(jié)能多級混合風(fēng)機(jī)系統(tǒng)、節(jié)能恒溫負(fù)壓系統(tǒng)等。
2、采用可靠性、安全性高的濾材,主濾材粒徑應(yīng)符合國家標(biāo)準(zhǔn),濾材選用應(yīng)合理,考慮效率度、環(huán)境要求及價格等因素。
3、采用體積小、效率高的節(jié)能光催化凈化技術(shù)。
三、激活要求
1、采用可靠性和安全性高的激活方式,盡量減少激活后氣流受阻時長。
2、設(shè)計激活形狀和尺寸時,要考慮工作負(fù)荷、空調(diào)系統(tǒng)結(jié)構(gòu)、布置空間及設(shè)備投資費用等因素。
四、空氣動力學(xué)要求
1、設(shè)計過程中應(yīng)考慮空氣流動特性、抑制腔壁對流動影響等要素。
2、空調(diào)系統(tǒng)進(jìn)行氣流調(diào)節(jié)時,要綜合考慮從不同空調(diào)區(qū)域到新風(fēng)機(jī)組的氣流比例、氣流分布情況等。
五、收集粒子濃度數(shù)據(jù)
1、應(yīng)采用可靠的測量儀器,設(shè)備可靠性要高,精度高,測量靈敏度能夠達(dá)到預(yù)期要求。
2、測量設(shè)備應(yīng)能夠?qū)Ρ扰欧艔U氣受控前后的空氣污染水平,以確定治理效果。
六、排污系統(tǒng)要求
1、應(yīng)考慮廢氣排放受控后,排放濃度是否符合國家相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)要求。
2、考慮有無可能將某些廢氣用作蒸汽、熱水、熱能或其他熱轉(zhuǎn)換的工藝流程中,以實現(xiàn)節(jié)能收回的目的。
七、實施運行及管理要求
1、應(yīng)安裝必要的遠(yuǎn)程監(jiān)控報警及在線監(jiān)測系統(tǒng),以確定機(jī)組的運行狀態(tài)。
2、系統(tǒng)的運行應(yīng)按照生產(chǎn)標(biāo)準(zhǔn)運行,定期檢查各個部件系統(tǒng)的可靠性,并定期對系統(tǒng)進(jìn)行維護(hù)、保養(yǎng),確保機(jī)組正常工作。